2014.05.08
凍結チャック(ESチャック)を使用し、四枚の板を同時に研磨加工しました。
フライスの段階では、±0.25mm程度のガタつきがありましたが、
凍結技術によって、±0.005mm以内の平坦度を保つことができました。
素晴らしい効果を得ることができました。
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